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  1. 增值服務service

    酸堿性質的氣體:

            首先將待處理氣瓶連接到氣體控制面板上,使用氮氣置換pigtail部分,然后通過控制面板減壓并控制流量,將需要處理的氣體通入相應的洗滌塔,氣體通過洗滌塔的塔身內部,塔身內壁為酸/堿水霧,堿性/酸性氣體穿過水霧時和水霧中的酸/堿產生中和反應生成鹽。酸性氣體通入到堿洗滌塔,和洗滌塔中的堿進行酸堿反應生成鹽分,堿性氣體通入酸性洗滌塔。
    適用氣體:

           堿性氣:NH3

           酸性氣:HCl、HBr、F2 Mix 、 HF、CL2、H2S、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4、BCl3、SO2等。



     

    可燃分解類氣體:

            首先將待處理氣瓶連接到氣體控制面板上,使用氮氣置換pigtail部分,然后通過控制面板減壓并控制流量,將需要焚燒的氣體通入焚燒爐,使其燃燒或高溫分解,降解為無害物質或者分解成可以被酸堿中和的物質,燃燒后的尾氣被送入除塵設備除塵,然后被送入洗滌設備進行中和反應。

    適用氣體:

           可燃分解類氣體:SiH4、PH3、PH3 Mix、B2H6、CH4、H2、 NF3、SF6等。


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